板缩小比例4比1,曝光区域22x22mm。一共使用了十八组棱镜,二十三组透镜……”
三家光刻机厂商的代表越听越是吃惊,从周硕所说的技术细节来看,中国人竟然真的已经彻底掌握了0.5微米光刻机的全部关键技术!可是这些技术的数据在公开渠道,是不可能搜集到的。何况是被严密封锁的中国大陆企业,除非真的吃透了这些技术的精髓,否则根本无法得到这些数据。
“周桑,关于你的描述里有一点,能否请你解释一下。”竞标过程里,竞标对手间互相进行诘问也是保留项目了,白石茉莉奈当然不可能只做一个看客:“在透镜的介绍中,我发现你们只使用了二十三组。但是根据我们的计算,想要实现多次曝光,最少也需要二十五组镜头。能否解释一下,为何你们少用了两组?”
周硕抬头看了看这个美艳的日本女人,面不改色的点了点头说道:“fh-500bj最初的设计中,确实是使用了二十五组镜头。但后来我们发现可以对第八组光刻镜头进行优化,只要把镜头的弧度根据夏尔谢夫公式进行重新设计,就能节省两组镜头的使用。”
“夏尔谢夫公式?”白石茉莉奈愣了愣,奇怪的说道:“我怎么没有听说过这个公式?”
当然